시험서비스

SEMI S6

시험소개

SEMI S6에서는 유해물질을 사용하는 반도체 장비에서 배기시스템을 통해 관리되는 유해물질의 농도에 대한 가이드라인을 제시하고 있습니다.

유독성물질, 인화성물질에 따라 허용농도가 달라지며, Tracer Gas Test(추적 가스 시험)을 통해 반도체 장비 내 가스 유출상황에 대해 시뮬레이션을 하고 있습니다.

위험도시험방법허용
농도
유독성 물질작업자가 독성물질에 누출 및 흡입할 수 있는 위험Toxic Test실제 작업자가 호흡을 하는 영역에서 OEL의 25% 미만으로 측정
인화성 물질장비 내부에서 발생할 수 있는 화재위험Flammable Test반도체 장비에 존재하는 점화원 위치에서 LFL의 25% 미만으로 측정

* OEL(Occupational Exposure Limit) : 작업자가 특정 시간동안 노출될 수 있는 물질의 공기 중 허용 가능한 최대 농도
* LFL(Lower Flammable Limit) : 인화성 물질이 공기 중에서 연소가 일어날 수 있는 최소 농도

Tracer Gas Test(추적 가스 시험)

Tocix Test
(유독성 물질)
Flammable Test
(인화성 물질)
유해 물질의 Gas Box 외부 유출 상황을 시뮬레이션 하여 외부에서 포집한 가스 농도가 OEL의 25% 미만임을 확인유해 물질의 Gas Box 내부 유출 상황을 시뮬레이션 하여 내부에서 포집한 가스 농도가 LFL의 25% 미만임을 확인
1반도체 장비 주변 구역에서 Background Sample 포집
(Background 농도 1 ppb 이하 조건에서만 Test 진행)
2장비 외부에서의 Sample Gas 포집 위치 결정
(예상 유출 지점, 방출 방향, 장비 주변 층류 고려)
장비 내부에서의 Sample Gas 포집 위치 결정
(장비 내부의 모든 잠재적 발화원을 고려)
3Tracer Gas 주입
4Tracer Gas 평형 시점 도달 후 각 시간 마다
(1, 3, 5분) 장비 외부에서 Sample Gas 포집
Tracer Gas 평형 시점 도달 후 장비 내부에서 Sample Gas 포집
55분 후 Tracer Gas 차단 및 1분 후 마지막 Sample Gas 포집
6Gas Chromatography 장비를 이용하여 포집된 가스의 농도분석
7포집한 가스 농도가 OEL의 25% 미만임을 확인포집한 가스 농도가 LFL의 25% 미만임을 확인

관련 규격

  • SEMI S6

시험 보유 장비

GAS CHROMATOGRAPHY

MULTIPOINT SAMPLER & PHOTOACOUSTIC GAS MONITOR

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