시험소개
SEMI S23의 목적은 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료에 대한 에너지 절감을 목적으로 합니다.
장비의 공급자는 장비의 유틸리티 및 재료 이용률을 조사하여, 에너지 소비를 감소 시킬수 있는 설계 및 공정을 구현해야 하며, 장비 사용자는 해당 시험의 측정 결과를 토대로 장비에 사용되는 유틸리티, 재료 의 이용률 및 에너지의 사용량을 통해 장비 구매결정을 고려할 수 있습니다.
측정, 절감 모니터링은 하나 또는 여러 개의 공정을 고려해야 하며, 특정 레시피 및 에너지 사용량에 따라 달라질 수 있습니다.
통상적으로 장비의 사용조건 중 Idle 및 Process 조건을 고려해야 하며, 실제 동작 레시피와 동일한 조건하에 사용되는 에너지량을 측정해야 합니다.
