인증서비스

SEMI

인증 소개/마크

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International): 세계 반도체 장비 재료 협회

세계 각국의 2,000 여개가 넘는 회원사를 보유하고 있으며 반도체 제조에 대한 기술 및 설비 전반에 대한 기술 기준을 지정하여 가이드하고 있는 협회입니다. 이중에서 반도체 장비에 대한 위험을 제거 또는 제어하기 위해서 EHS에 대한 S시리즈 가이드를 제공하며 있으며 이 S가이드는 전기, 기계, 화학, 전리, 비전리 방사선 등의 포괄적인 위험에 대한 구체적인 기술기준을 제시하고 있습니다.

SAMSUNG, SK하이닉스 및 인텔, 마이크론 등 유수의 반도체 기업들이 자사로 반입되는 설비에 대해서 SEMI 평가를 요구하고 있습니다.

세이프월드는 국내 최고의 SEMI 평가 기관 입니다. 수년간 국내 및 해외 SEMI 평가 경험을 가진 베테랑 엔지니어를 여럿 보유하고 있으며 세분화된 전문가 (기계, 화학, 전기, 전자 전공)들로 구성되어 있습니다. SEMI 평가에 필요한 모든 시험 장비를 보유하고 있어서 자체적으로 관련 모든 시험을 진행이 가능합니다. 귀사에 제작되는 설비에 대해 설계 단계부터 제작까지 SEMI 기술 기준에 대하여 자세하게 컨설팅을 제공하고 있습니다.

해당 분야/제품군

해당 분야

  • 반도체, FPD 제조 업체 납품되는 모든 제조 설비

제품군

  • CVD, ALD, PVD, Ion Implanter, Furnance, RTP, Wafer Inspection, Memory Tester,
  • Chiller, CMP, Cleaner, Asher, Etcher, Stepper, Die Attacher, Wire bonding, Scrubber, Pump
  • Memory handler, OHT, AGV, Wafer Handling Robot 등

관련 규격

  • SEMI S2 : 반도체 설비에 대한 EHS (Environment & Safety & Health)
  • SEMI S26 : 평판 디스플레이 설비에 대한 EHS (Environment & Safety & Health)
  • SEMI S1 : 안전라벨(Equipment Safety Labels)
  • SEMI S6 : 배기 환기 시스템에 대한 EHS (Exhaust Ventilation)
  • SEMI S8 : 인체 공학 기준 (Ergonomic Design)
  • SEMI S10 : 위험성 평가 기준 (Risk Assessment)
  • SEMI S13 : 메뉴얼 (Manual)
  • SEMI S14 : 화재 방지 및 위험성 평가 (Fire Risk assessment and Mitigation)
  • SEMI S17 : Unmanned Transport Vehicle(UTV) Systems.
  • SEMI S18 : 실란 계열 가스에 대한 EHS (Silane Family Gases Handling)
  • SEMI S22 : 전기 설계 (Electrical Design)
  • SEMI S23 : 에너지 세이빙 (Conservation of Energy)

인증 절차 및 준비 서류

인증 절차

  • 01

    견적 요청

  • 02

    서면 자료 검토

  • 03

    예비 평가

  • 04

    최종 평가 및 시험

  • 05

    SEMI 레포트 발행

준비 서류

제조사평가 기관
장비사양서 (전원사양 / Layout)검토 후 견적서 발송
서면 자료 제출
(기구, 유공압, 전기도면, Chemical 도면)
서면 자료 검토 후 부적합 결과 송부
도면 검토 결과물 수정 및 장비 제작
(제작 진행률 : 60~70%)
장비 현장 평가 후 부적합 결과 송부
1. 도면 및 실제 장비 수정사항 100% 적용 및 정상적인 구동 상태
2. 최종 기술문서 제출
1. 도면/장비 부적합 사항 확인
2. SEMI 평가 필요 시험 수행
3. 기술문서 최종검토
SEMI 평가 레포트 수행최종 기술 문서 검토 후 문제 없을 경우 SEMI 평가 레포트 발행
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