시험서비스

ESD(SEMI E78) 시험

시험소개

SEMI E78 - Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA) for Equipment

SEMI E78의 목적은 반도체 제조 장비의 정전하 및 전기장에 의한 생산성에 대한 부정적 요소를 최소화하기 위함입니다.
정전기 표면 전하로 인해 반도체 제조 환경에서 바람직하지 않은 여러가지 영향을 발생 시킬 수 있습니다.
ESD는 제품과 레티클 모두 손상시킵니다. ESD는 또한 전자파 간섭을 유발하여 장비 오작동을 야기 할 수 있습니다.

해당 분야/제품군

EMC Directive 2104/30/EU

  1. Electrostatic Field (정전기장 측정)
  2. Surface Resistance (표면저항 측정)
  3. Evaluation of Ionizers (이오나이저 성능평가)

관련 규격

  • SEMI E78, SEMI E33, SEMI E35, SEMI E43, SEMI E129, SEMI E163, ESDA s20.20

시험 보유 장비

RESISTANCE METER

Electrostatic Fieldmeter/Charger

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