시험소개
SEMI E78 - Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA) for Equipment
SEMI E78의 목적은 반도체 제조 장비의 정전하 및 전기장에 의한 생산성에 대한 부정적 요소를 최소화하기 위함입니다.
정전기 표면 전하로 인해 반도체 제조 환경에서 바람직하지 않은 여러가지 영향을 발생 시킬 수 있습니다.
ESD는 제품과 레티클 모두 손상시킵니다. ESD는 또한 전자파 간섭을 유발하여 장비 오작동을 야기 할 수 있습니다.
