시험서비스

SEMI F47 시험

시험소개

반도체 장비 그리고 주변 장치들의 높은 등급의 전력 품질 Quality 보증 하기 위한 시험입니다.

해당 분야 / 제품군

반도체 산업에 사용되는 공정 장비들(아래의 장비 군에 국한되지는 않음)

Etch Equipment (Dry & Wet)
Film deposition equipment(CVD & PVD)
Thermal Equipment
Automated test equipment
Chemical mechanical polishing / planarization equipment

관련 규격

SEMI F47-0706

시험 보유 장비

PSL Power Standards lab
(Sag Generator)

Sag Generator

Sag Generator 2